【導(dǎo)讀】說(shuō)到MEMS技術(shù)，可能大多數(shù)人都不太熟悉，這沒(méi)關(guān)系，因?yàn)镸EMS本身就是一門(mén)新興技術(shù)。從誕生到現(xiàn)在也沒(méi)多長(zhǎng)時(shí)間。在這之前，我先給大家介紹下物聯(lián)網(wǎng)。相信很多人或多或少的都聽(tīng)說(shuō)過(guò)這個(gè)詞，比如工業(yè)4．0、物聯(lián)網(wǎng)等等。
物聯(lián)網(wǎng)是通過(guò)各種傳感技術(shù)（RFID、傳感器、GPS、攝像機(jī)、激光掃描器……）、各種通訊手段（有線、無(wú)線、長(zhǎng)距、短距……），將任何物體與互聯(lián)網(wǎng)相連接，以實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)視、自動(dòng)報(bào)警、控制、診斷和維護(hù)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)“管理、控制、營(yíng)運(yùn)”一體化的一種網(wǎng)絡(luò)。
我舉一個(gè)生活中最常見(jiàn)的例子，當(dāng)下最流行的支付寶或者微信掃碼支付，這就用到了物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)。而今天我給大家介紹的是物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)中用到的感官系統(tǒng)——MEMS傳感器。我是一名在校研究生，學(xué)的專(zhuān)業(yè)就是MEMS專(zhuān)業(yè)，隨著學(xué)習(xí)的深入，我越來(lái)越感覺(jué)這個(gè)領(lǐng)域會(huì)在以后更加重要。
微機(jī)電系統(tǒng)（英語(yǔ)：Microelectromechanical Systems，縮寫(xiě)為MEMS）是將微電子技術(shù)與機(jī)械工程融合到一起的一種工業(yè)技術(shù)，它的操作范圍在微米范圍內(nèi)。比它更小的，在納米范圍的類(lèi)似的技術(shù)被稱(chēng)為納機(jī)電系統(tǒng)。MEMS設(shè)計(jì)出的實(shí)物大多數(shù)是傳感器，微型傳感器。
下面我舉出一些生活中的MEMS傳感器，大家可以發(fā)現(xiàn)這種小東西就在我們身邊。
一、汽車(chē)安全氣囊中的MEMS加速度傳感器。
圖一： 汽車(chē)安全氣囊的MEMS加速度傳感器
二、汽車(chē)輪胎中的MEMS壓力傳感器，由于MEMS傳感器的顯著優(yōu)點(diǎn)就是體積小，所以不占空間。可用到小型物體中。
圖二、輪胎中的MEMS壓力傳感器三、MEMS微型投影儀，體積小的優(yōu)點(diǎn)可以使得投影儀做的很小，方便攜帶。
圖三、MEMS微型投影儀
四、MEMS微型麥克風(fēng)，我們手機(jī)里的麥克風(fēng)使用MEMS技術(shù)后，體積將更小，手機(jī)因此也可以做的更薄。聲音保真度將會(huì)大大提高。
圖四、手機(jī)里的MEMS微型麥克風(fēng)五、MEMS微型陀螺儀，手機(jī)里的陀螺儀，小型無(wú)人機(jī)中的陀螺儀等等都采用了MEMS工藝來(lái)制作。
六、MEMS熱膜傳感器，可用來(lái)貼附在表面測(cè)溫度而不影響工作。比如貼附在發(fā)動(dòng)機(jī)啊葉片表面，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)葉片的溫度，因?yàn)樘〔挥绊懭~片的旋轉(zhuǎn)。
